

高岡智則
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マイクロビッカースとは?
マイクロビッカースは、材料の硬さを「小さな領域」で評価するための試験方法です。主に、薄膜・コーティング・微小部位の硬さを知りたい場合に使われます。従来のビッカース硬さ試験(マクロ領域)よりも荷重を小さくして、微小な痕跡を作るのが特徴です。
この試験では、ダイヤモンドのピラミッド形のインデンターを材料表面に押し当て、一定の荷重をかけて痕跡を作ります。印痕は正方形の対角線の長さ d で評価されます。痕跡の対角線の平均値を用いて硬さを計算します。ダイヤモンドインデンターの角は通常136度です。
重要なポイントは、印痕の大きさと形状が材料表面の粗さや準備状態に大きく影響を受けることです。そのため、表面を平滑化し、同じ条件で複数の痕跡を取って平均を出すことが大切です。
どうやって硬さを計算するの?
硬さの計算には「硬さ番号 HV(Vickers hardness number)」が使われます。基本的な公式は次のとおりです。HV = 1.854 × F ÷ d^2。ここで F は荷重(kgf)、d は印痕の平均対角線の長さ(mm)です。荷重を小さくして測定する場合は、マイクロビッカースと呼ばれ、微小部位の硬さを正確に評価することができます。
マイクロビッカースの用途と制約
金属の表面処理・コーティング・薄膜の硬さ評価、組成が異なる微小領域の硬さ比較などに用いられます。対して、傷がつきやすい材料や粗さのある表面では誤差が大きくなることがあるため、試料前処理が重要です。
印痕の読み取りと表の活用
顕微鏡で印痕を観察し、対角線を測定します。複数の痕跡を取り、平均の d を計算します。下の表はマイクロビッカースの荷重領域と対応する特徴を簡単に比較したものです。
| 説明 | |
|---|---|
| インデンター | ダイヤモンドのピラミッド型。角は通常136度。 |
| 荷重の領域 | 微小荷重を使用。例: 数 gf〜数十 gf程度が一般的。 |
| 対象 | 薄膜・コーティング・微小部位の硬さ評価。 |
| 利点 | 微小領域の硬さ測定が可能。 |
| 制約 | 表面状態・粗さ・準備状態に敏感。 |
まとめとして、マイクロビッカースは、従来のビッカースに比べて小さな領域の硬さを正確に知るための有力な手法です。材料の微細構造やコーティングの品質評価に欠かせないツールとなっています。
マイクロビッカースの同意語
- マイクロビッカース硬さ試験
- 微小領域の硬さを測定するためにビッカース法を用いる試験。荷重を小さく設定して材料の局所的な硬さを評価します。
- 微小ビッカース硬さ試験
- 同義。微小領域の硬さを測定するビッカース法による試験。
- マイクロビッカース硬度測定
- 微小領域の硬度を測定する作業。測定値は通常 HV などの硬度値として得られます。
- 微小ビッカース硬度測定
- 同義。小さな領域の硬度を測定する測定作業。
- マイクロビッカース法
- マイクロ領域の硬さを評価するビッカース法のこと。荷重を低く設定して局所的な硬さを測ります。
- 微小ビッカース法
- 同義。微小領域でのビッカース法による硬さ評価の方法。
- ビッカース硬さ試験(マイクロ領域用)
- マイクロ領域での硬さを評価するためのビッカース法を用いた試験。
- ビッカース硬度測定(マイクロ領域用)
- マイクロ領域の硬度を測定するためのビッカース法に基づく測定。
- ビッカース法(マイクロ領域用)
- 微小領域の硬さを評価するためのビッカース法の運用方法を指す表現。
マイクロビッカースの対義語・反対語
- マクロビッカース
- マイクロビッカースの対義語として使われる語。荷重を大きくして行う、マクロスケールのビッカース硬さ測定を指す場合が多い。
- マクロビッカース硬さ
- マイクロビッカース硬さの反対概念。大荷重を用いた測定で得られる硬さを指す。
- マクロビッカース試験
- ビッカース法のマクロ版の試験。痕跡サイズが大きく、荷重が大きい条件で行う。
- マクロ硬さ
- 硬さの測定規模が大きい概念。マイクロ硬さの対概念として用いられることがある。
- 大荷重ビッカース法
- ビッカース法を、荷重を大きく設定して行う測定方法。マイクロビッカースの反対概念として使用される。
- マクロビッカース法
- マクロスケールのビッカース法全般を指す表現。
マイクロビッカースの共起語
- マイクロビッカース硬さ
- マイクロビッカース試験で得られる硬さの値。微小領域の材料の硬さを評価する指標です。
- ビッカース硬さ
- Vickers硬さの総称で、ダイヤモンドピラミッド形の圧痕の長さから硬さを算出します。
- 圧痕
- 硬さを測定する際に材料表面に残る痕跡。対角線長の測定により硬さを求めます。
- ダイヤモンドピラミッド
- Vickers圧痕を作る金剛石製の四角錐形の圧痕型。
- ダイヤモンド圧痕
- ダイヤモンドピラミッド形の圧痕そのもの。
- 対角線長
- 圧痕の対角線の長さ。硬さ計算の基礎となる測定値です。
- 荷重
- 試験時に材料に加える力。マイクロビッカースでは小さな荷重域が用いられます。
- 圧痕長さの測定
- 圧痕の対角線の長さを顕微鏡で測定する作業です。
- 顕微鏡
- 圧痕を観察・測定するための光学機器。倍率を使って長さを算出します。
- 硬度計
- 硬さを測定する機器の総称。マイクロビッカース用の装置を含みます。
- 表面仕上げ
- 測定前の表面研磨・平滑化。表面状態が測定精度に影響します。
- 試料表面
- 測定対象の材料の表面。測定条件はこの表面に依存します。
- 材料分野
- 金属、セラミックス、複合材など、測定対象材料のカテゴリ。
- 標準規格/規格適合
- ISO/JIS/ASTMなどの標準手順に準拠して測定を実施します。
- 校正/キャリブレーション
- 測定機器の精度を保つための調整・検証作業。
- 再現性
- 同条件での測定結果の再現性。ばらつきを評価します。
- 不確かさ/測定不確かさ
- 測定値の誤差・ばらつきの評価指標。
- コーティング評価
- 薄膜コーティングの硬さ評価にも用いられることがあります。
- 薄膜/基材の硬さ差
- 薄膜と基材の硬さの差を評価する場面。
マイクロビッカースの関連用語
- マイクロビッカース硬さ試験
- 材料の微小領域の硬さを評価する試験。ダイヤモンドのピラミッド型インデンターを用い、低荷重で印痕を作り、顕微鏡で印痕の対角線長を測定して硬さを算出します。荷重は一般に0.1〜5 kgf程度が多いです。
- ビッカース硬さ
- Vickers hardness。ダイヤモンドの正方錐形インデンターを使い、得られた印痕の対角線長から硬さを算出する指標。HVとして表記され、金属・セラミックスなど幅広い材料で用いられます。
- インデンテーション
- 材料表面に痕跡を作ること。硬さ試験はこの原理で硬さを評価します。
- インデンター
- 硬さ試験で使われるダイヤモンド製の先端工具。マイクロビッカースではピラミッド型のインデンターが用いられます。
- 荷重
- 印痕を作る力。マイクロビッカースでは小さな荷重を用い、微小領域の硬さを測定します。
- HV(ビッカース硬さ値)
- 硬さの指標。印痕の対角線長から求められ、HVとして表示されます。式の一例として HV = 1.854 × F / d^2(Fは荷重、dは印痕の対角線長)があります。
- 印痕の対角線長
- ビッカース印痕の長さの測定値。これを用いて硬さを算出します。
- 表面準備・研磨
- 正確な測定の前提となる、滑らかな表面を作る工程。表面粗さが読み取り精度に影響します。
- 顕微鏡観察
- 印痕を観察・測定するための光学顕微鏡の観察。対角線長の測定に用います。
- 試験機・標準機器
- 荷重機構とインデンター、顕微鏡などを組み合わせた硬さ試験機。
- 荷重分類
- HV0.1, HV0.3, HV1 など、印痕の荷重スケールを示す表示。微小領域の硬さを評価する際の指標です。
- 適用分野
- 金属・合金、セラミックス、薄膜・コーティング材料、半導体材料など、微小部位の硬さ評価が必要な分野で用いられます。
- Knoop硬さ
- 別の微小硬さ試験法。Knoopインデンターを用い、長方形の細長い印痕を測定して硬さを算出します。マイクロビッカースと用途が似ていますが印痕形状が異なります。
- 標準・規格
- ASTM E384 などの微小硬さ/マイクロ硬さ測定の標準規格や、ISO/JISの関連規格が適用されます。
- ナノインデンテーション
- より微細な領域の硬さを測る方法。マイクロビッカースの領域よりさらに小さなスケールで材料の機械特性を評価します。



















