

高岡智則
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4端子法・とは?
4端子法・とは?抵抗を正しく測るための方法です。電気回路で材料の抵抗を知りたいとき、電極の接触部分の抵抗や導線の抵抗が測定値に混ざってしまうと、正確さが落ちてしまいます。そこで外側の2本の電極は電流を流すだけにして、内側の2本は電圧を測るだけにします。接触抵抗の影響を最小限に抑える工夫をした測定方法が「4端子法」です。
原理のポイントは「電流を流す電極と電圧を測る電極を分ける」ことです。外側の電極で電流 I を決め、内側の電極で間の電圧 V を測定します。材料の抵抗 R は R = V / I という式で求められます。測定機器は高いインピーダンスで接続され、接触抵抗の影響を最小化します。
仕組みと測定原理
4端子法の基本は次のとおりです。外側の2本の電極に一定の電流を流し、内側の2本の電極でその間の電圧を測定します。接触抵抗は外側の電極と材料の界面で分散するため、内側の電圧測定には影響しにくいのです。その結果、測定対象の材料自体の抵抗だけを読み取れるようになります。
測定手順の流れ
1. 試料を清潔な状態に整え、端子を適切に配置します。外側の2本を電流源につなぎ、内側の2本を電圧計につなぎます。
2. 電流を一定に保ちつつ、内側の2点間の電圧 V を読み取ります。
3. 導体の長さ L 等の幾何条件を測定し、断面積 S を確認します。
4. 計算式 R = V / I を用いて抵抗 R を求めます。断面積や長さが既知なら、材質の抵抗率も求められます。
2端子法との違いと表
下の表は 2端子法と 4端子法 の違いを簡単に比較したものです。
| 2端子法 | 4端子法 | |
|---|---|---|
| 対象の抵抗 | 材料の抵抗+接触抵抗 | 材料の抵抗だけを読み取りやすい |
| 接触抵抗の影響 | 大きく影響する | 影響を大幅に低減 |
| 測定原理 | 電圧と電流を同時に測る | 電圧と電流を分離して測る |
この方法は主に半導体・薄膜材料・導電性ガラスなど、薄くて広い面積の試料で使われます。実験室だけでなく教材用のキットでも学習しやすく、初心者にも理解しやすい点が魅力です。
注意点とポイント
正確に測定するには試料の温度を一定に保つこと、端子の配置を丁寧に行うこと、測定機器のキャリブレーションを欠かさないことが大切です。特に温度変化や試料の劣化があると測定値が変動します。
まとめ
4端子法は「外側の電極で電流を流し、内側の電極で電圧を測る」ことで、接触抵抗の影響を受けずに材料の抵抗を把握できる方法です。初心者でも基本を押さえれば、家庭用の教材や学校の実験で活用できます。
4端子法の同意語
- 四端子法
- 試料の抵抗を正確に測るため、測定回路の導線抵抗や端子の接触抵抗の影響を排除する方式。電流を流す端子と電圧を測定する端子をそれぞれ2本ずつ、計4本の端子を用います。
- 四端子測定法
- 4端子法と同義の表現。測定には4本の端子を用い、電流端子と電圧端子を分離して抵抗を測る方法です。
- 4端子法
- 4端子法の表記ゆれ。低抵抗や材料抵抗を正確に測定するため、端子の接触抵抗を排除して測定します。
- 4端子測定法
- 4本の端子を使って電流と電圧を分けて測る測定法。外部の配線抵抗の影響を小さくできます。
- 4端子式
- 4つの端子を用いる測定式・手法のこと。接触抵抗やリード抵抗を測定値から除外する目的で用いられます。
- 四端子式測定法
- 4端子式の測定手段。端子を4つ使い、抵抗を高精度に測定する方法です。
- 4端子式測定
- 4端子式測定法の略表現。4つの端子を用いて測定することで、接触抵抗の影響を軽減します。
- ケルビン法
- Kelvin法とも呼ばれ、測定対象の抵抗値を正確に求めるために4端子測定を用いる方法。接触抵抗を排除する点が特徴。
- ケルビン測定法
- ケルビン法の別称。4端子測定を用い、端子間の接触抵抗を除外して抵抗を測ります。
4端子法の対義語・反対語
- 2端子法
- 4端子法の対義語として、測定回路における接触抵抗やリード抵抗の影響を受けやすい従来型の抵抗測定方法。2本の端子だけを使って抵抗を測るため、端子の接触状態やリード長に依存します。
- 二端子法
- 2端子法の別表記。接触抵抗の影響を受けやすい、比較的簡易な抵抗測定手法です。
- 2線式法
- 2線式の抵抗測定。導体の自己抵抗や配線抵抗が測定値に含まれやすく、正確性は4端子法に劣ることが多いです。
- 二線式測定
- 2線式測定の別表記。端子とリードの抵抗が結果に影響します。
- 2端末測定
- 2端末で測定するタイプの方法。4端子に比べて接触抵抗の影響を避けられません。
4端子法の共起語
- 4端子法
- 4端子法と同義。4つの端子を用いて電気抵抗を測定する方法。
- 四端子法
- 同義語。4端子を用いて抵抗を測る測定法。
- 4端子測定
- 4端子を用いた抵抗測定の総称。精密な測定に使われる。
- ケルビン法
- 別名として使われる抵抗測定法。接触抵抗の影響を抑える高精度な測定法。
- ケルビン端子
- 4端子法で用いられる、電流用と電圧測定用の端子を分ける端子のこと。
- ケルビン接触
- 端子と試料の接触部の抵抗の影響を減らす接触方式。
- 接触抵抗
- 電極と試料の接触面で生じる抵抗成分。
- 端子抵抗
- 端子と配線の接触部に生じる抵抗のこと。
- 抵抗測定
- 物体の電気抵抗を測ること。
- 電気抵抗
- 電流に対する抵抗の大きさ。
- 抵抗率測定
- 材料の抵抗率を測定すること。
- 薄膜抵抗測定
- 薄膜状の材料の抵抗を測定すること。
- 温度依存測定
- 温度を変えたときの抵抗の変化を測定すること。
- 低抵抗測定
- 非常に小さな抵抗を高精度で測定する方法。
- 2端子法
- 従来の2端子を用いた抵抗測定法。4端子法と比較される。
- 測定回路
- 抵抗を測るための回路の構成。
- 導電率
- 電気が流れやすい性質を示す量。抵抗率の逆数で表されることが多い。
- 材料抵抗測定
- 材料そのものの電気抵抗を測定すること。
- 直流測定
- 直流を用いて測定する方法。
- オームの法則
- V=IR の基本法則。測定の基礎となる考え方。
4端子法の関連用語
- 4端子法
- 電流を注入する端子と電圧を測定する端子を分けて使い、接触抵抗の影響を避ける測定法。薄膜や薄片のシート抵抗・抵抗率を正確に求められます。
- 四端子法
- 4端子法と同義。4つの端子を用いる抵抗測定の表現の一つです。
- 4探針法
- 4つの探針を直線状に配置し、外側の2本で電流を流し、内側の2本で電圧を測定する方法。接触抵抗を抑え、薄膜のシート抵抗を評価します。
- 四探針法
- 4探針法の別表現。4つの探針を使う抵抗測定手法です。
- 直流4端子法
- 直流電流を流して電圧降下を測定する4端子法。ノイズの影響を抑えやすく、温度変化の影響も比較的低く見積もれます。
- 交流4端子法
- 交流信号を用いて周波数依存のインピーダンスを測定する4端子法。材料の周波数特性を調べる際に有用です。
- ケルビン測定
- Kelvin sensing。4線式測定を用いて、接触抵抗の影響をほぼゼロにして抵抗を測る精密な方法です。
- ケルビン接触
- ケルビン測定を実現するための接触構造。電流用と電圧測定用の接触を分離します。
- 薄膜シート抵抗
- 薄膜材料のシート抵抗 Rs を測定する指標。厚さ t の影響を受け、 Rs = ρ/t の関係で薄膜の抵抗率 ρ と関連づけて表されます。
- 薄膜電気抵抗率
- 薄膜材料の体積抵抗率 ρ。単位は Ω·m。4端子測定で求めることが多い物性値です。
- シート抵抗
- 薄膜などの平方抵抗を表す指標。単位は Ω/□。4端子法で測定されることが多いです。
- 抵抗率(ρ)
- 材料固有の電気抵抗の性質を表す値。単位は Ω·m。
- 導電率(σ)
- 抵抗率の逆数で、材料が電気をどれだけ通しやすいかを示す量。
- Van der Pauw法
- 薄膜のシート抵抗を、形状にとらわれず測定できる方法。4つの端子を用い、特定の配置と公式で Rs を求めます。
- 測定装置/測定ステーション
- プローブステーションなど、4端子測定を実施するための機器。試料を安定して固定し、針の接触を正確にとります。
- 接触抵抗
- 電極と試料の間に生じる追加の抵抗。4端子法で低減できるが、完全には除去できない場合もあります。
- 温度補正/温度依存性
- 材料の抵抗は温度で変化するため、測定温度を一定にするか、温度補正を行って報告します。
- 適用対象/用途
- 半導体基板、薄膜、酸化物導電体、グラファイト・カーボン系材料など、薄膜の電気特性を評価する対象に用いられます。
- 測定原理/オームの法則
- V = IR の関係を用いて電圧と電流から抵抗を算出し、そこから Rs や ρ を求めます。



















