透過型電子顕微鏡とは?初心者向けにやさしく解説する基本ガイド共起語・同意語・対義語も併せて解説!

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透過型電子顕微鏡とは?初心者向けにやさしく解説する基本ガイド共起語・同意語・対義語も併せて解説!
この記事を書いた人

高岡智則

年齢:33歳 性別:男性 職業:Webディレクター(兼ライティング・SNS運用担当) 居住地:東京都杉並区・永福町の1LDKマンション 出身地:神奈川県川崎市 身長:176cm 体系:細身〜普通(最近ちょっとお腹が気になる) 血液型:A型 誕生日:1992年11月20日 最終学歴:明治大学・情報コミュニケーション学部卒 通勤:京王井の頭線で渋谷まで(通勤20分) 家族構成:一人暮らし、実家には両親と2歳下の妹 恋愛事情:独身。彼女は2年いない(本人は「忙しいだけ」と言い張る)


透過型電子顕微鏡とは?

透過型電子顕微鏡(TEM)は、非常に小さなものを拡大して観察できる道具です。光の顕微鏡では見えない細かな構造を、電子の力で映し出します。TEMが使われる場面は、生物の細胞の内部構造の研究、金属や半導体の材料研究、ナノ材料の観察など、多岐にわたります。

仕組みと基本構成

TEMの「原理」は、電子を発生させて試料に向けて照射し、試料を透過した電子をレンズで集めて像を作ることです。TEMには以下の部品があります: 電子銃コンデンサーレンズ対物レンズ投影レンズ真空チャンバー試料ステージ、そして画像を捉える検出系。これらはすべて高真空の中で動作します。

TEMと光学顕微鏡の違い

TEMは、数万倍〜数百万倍の解像度を持つことが多く、原子レベルの細部まで見える場合があります。一方、光学顕微鏡は、波長が長い光を使うため見える情報が限られ、通常は細胞の全体像や組織の構造を観察します。TEMを使うには、試料を薄く切断したり金属でコーティングしたりする前処理が必要です。これにより電子が試料を透過しやすくなります。

試料の準備と観察の流れ

TEM用の試料は薄く加工し、特殊な固定・脱水・乾燥を経て、真空状態に耐えられる形にします。観察前には、試料を適切な位置に固定し、電子線のエネルギーをコントロールするための設定を行います。準備には時間と専門知識が必要で、専門の設備が求められます。

用途の実例と学べること

TEMは材料科学での欠陥観察、半導体デバイスの微細構造解析、生物学の細胞内構造の研究など、さまざまな場面で活躍します。結晶の配列、界面の性質、粒子の形状などを高解像度で見ることで、新しい材料開発や病気の原因解明につながる知見が得られます。

比較表

特徴TEM光学顕微鏡
原理電子を使って像を作る光を使って像を作る
分解能の目安数十ピコメートル〜数ナノメートル数百ナノメートル程度
試料の厚さ非常に薄い膜状生きた試料も観察可能な場合が多い
真空の必要性必要不要な場合が多い

まとめ

透過型電子顕微鏡は、私たちの目には見えない世界を映し出す強力な道具です。正しい前処理と操作技術があれば、物質の内部構造や生体の微細な特徴を詳しく観察できます。実験や研究の現場では、欠かせない重要な道具のひとつです。


透過型電子顕微鏡の同意語

透過型電子顕微鏡
電子を透過させて標本の薄片を観察する高解像度の顕微鏡。電子ビームが標本を透過した際に生じる透過像を検出して像を作る。主に材料科学や生物学などで微細構造の観察に使われる。
透過電子顕微鏡
透過型電子顕微鏡と同義の表現。薄片にした試料を電子が透過する際の像を用いて高倍率・高解像度で観察する装置。
TEM
英語の頭字語『Transmission Electron Microscope』の略称。日本語の文章や文献でも広く TEM として使われ、透過型電子顕微鏡を指す。
トランスミッション電子顕微鏡
英語の 'transmission' をカタカナ表記にした表現。透過型電子顕微鏡の別表現として用いられることがあるが、一般的には TEM が多く使われる。
トランスミッション型電子顕微鏡
『トランスミッション電子顕微鏡』と同様の意味。文献によってはこの表現を用いることがあるが、日常的には『透過型電子顕微鏡』と同義とされることが多い。

透過型電子顕微鏡の対義語・反対語

反射型電子顕微鏡
透過ではなく、試料表面で反射・散乱した電子を用いて像を作る電子顕微鏡。表面の形状・微細構造の観察に適している。
走査型電子顕微鏡(SEM)
電子ビームを試料表面上で走査し、二次電子・反射電子を検出して像を作る。表面の模様・質感を高解像で観察でき、透過像は得られない。
光学顕微鏡
可視光を用いて標本を観察する顕微鏡。電子顕微鏡とは原理が異なるため、観察対象や解像度の違いがある。
非透過型電子顕微鏡
透過できない厚みの試料を対象とする電子顕微鏡の総称。TEMと対照的に、厚さや透過性の観点で使われる表現。

透過型電子顕微鏡の共起語

加速電圧
電子ビームを加速する電圧。主にキロボルト(kV)単位で設定され、観察の分解能や試料ダメージに大きく影響します。
電子銃
電子を発生させる装置。通常は熱電子源や冷陰極が用いられ、TEMの最初の電子源となります。
電子源
電子を放出する部品・素材の総称。共通して電子ビームの基となる部分です。
電子ビーム
試料に照射する高エネルギーの電子の束。透過型電子顕微鏡の基本撮影媒介となります。
対物レンズ
試料から出た電子を集光して像を作る主レンズ。像の焦点と解像度を決定します。
試料グリッド
試料を載せる薄い金属メッシュ。TEM観察の支持体として使われます。
薄片
TEM観察用に極薄く切断・準備された試料片。電子の透過を可能にします。
超薄片
TEM観察用に特に薄く作られた試料片。原子レベルのディテール観察にも適します。
薄片作製
試料を超薄片に加工する一連の工程。機械的切削・エッチング・凍結割断などを含みます。
真空
TEMは真空中で運用され、電子の自由な伝播と試料の汚染防止の役割を担います。
高真空
高い真空度を保つ状態。散乱を抑え、試料の汚染を防ぎ、電子の伝播を安定させます。
電子回折
電子の波が試料内部で回折する現象。結晶構造の解析や格子情報の取得に用いられます。
結晶回折
TEMで得られる回折パターンから結晶情報を読み取る手法。電子回折と密接に関連します。
分解能
像が識別できる最小の構造寸法。TEMの主要な性能指標のひとつです。
HRTEM
高分解能透過電子顕微鏡。原子レベルの観察を可能にする技術。
STEM
走査型透過電子顕微鏡。ビームを走査して像を形成する観察モードの総称。
BF像
明場像。薄片を透過した電子の分布に基づく像で、コントラストの基本形です。
DF像
暗場像。特定条件で電子を選択的に集め、コントラストを強調した像です。
HAADF像
高角度周辺暗部像。原子番号(Z)対比を強く表現するSTEMの観察像の一種です。
Z対比
原子番号の違いによるコントラスト。HAADF像で特に顕著になります。
EELS
電子エネルギー損失分光。スペクトルから元素・電子構造を分析します。
エネルギー損失分光
EELS の別名。電子のエネルギー損失スペクトルを用いた分析手法。
EDX
エネルギー分散X線分析(EDS/EDX)。TEMで元素の同定・分布を調べます。
EDS
エネルギー分散X線分析の略称。元素分析の基本技法です。
元素分析
試料の元素組成を特定する分析。定性・定量の両方を含みます。
元素マッピング
試料内の元素分布を像として可視化する技術・結果。
CCDカメラ
TEMの像を検出・デジタル化して保存する検出器の一種。
CMOSカメラ
CCDと並ぶデジタル検出器の一種。低ノイズ・高感度のものもあります。
検出器
像を検出・デジタル化するデバイス全般。CCD/CMOSなどが含まれます。
コントラスト
像の明暗差。試料の厚さ・材料・欠陥などで決まります。
ノイズ低減
信号のノイズを抑える技術・処理。画像の品質向上に寄与します。
倍率
観察対象を拡大表示する倍率。実測スケールの計算に使われます。
観察モード
BF、DF、STEM、HAADF など、どのように観察するかのモードの総称。
試料の厚さ
電子が試料を透過・散乱する度合いに影響する要素。薄ければ透過が増え、厚いと散乱が増えます。
格子欠陥
結晶格子の欠陥(空孔・欠陥・転位など)を観察対象とすることが多い。
結晶格子
原子が規則正しく並ぶ点群。TEMでは格子情報を回折・像から読み取ります。
2D材料
グラフェンや層状材料など、薄く平面的な材料。TEMで原子スケールの観察が可能です。
真空系
TEM全体の真空を維持する装置・配管・ポンプなどの集合体。
画像処理
撮影後のデータを処理・解析するソフトウェア技術。
原子番号コントラスト
原子番号の違いによるコントラストを指す別称。HAADF像で特に顕著になります。

透過型電子顕微鏡の関連用語

透過型電子顕微鏡
電子線を試料に透過させて像を作る電子顕微鏡の一種。原子レベルの構造観察に使われる。
電子顕微鏡
光を使わず電子を用いて拡大観察する顕微鏡。TEMとSEMが代表的
試料グリッド
試料を載せる薄い格子状の基板。銅や金などの材料とカーボン膜がよく使われる。
グリッド材料
グリッドの素材。銅、ニッケル、金など、用途に応じて選ばれる。
カーボン膜
グリッドの上に張る薄い炭素膜。試料の支持と絶縁性の確保に用いられる。
樹脂包埋
試料を樹脂で固めて薄く切れるようにする前処理。超薄切片作製の前段階。
超薄切片
超薄い標本切片(おおむね50–100 nm程度)。TEM観察の基本単位。
超薄切片作製
ウルトラミクロトームなどを用いて試料を極薄に切り出す工程。
電子銃
電子を発生させる部品。TEMの核となる源。
熱電子銃
熱エミッションで電子を放出するタイプ。安定性が高い。
場発電子銃
場発源。コヒーレンスが高く、ビームが細く整う。
加速電圧
電子を加速する電圧。一般的には60–300 kVの範囲で設定される。
対物レンズ
試料から出た電子を集束させ、像をつくるレンズ。
電子像
試料を透過した電子で形成される像。
透過像
透過電子を用いて作るTEMの基本像。
明視野像
BF像。未散乱電子が多く映る明るい像。
暗視野
DF像。特定の散乱電子のみを検出して像を作る暗い像。
高分解能TEM
格子間隔の観察が可能な高分解能のTEM。
SAED
選択領域電子回折。特定領域の結晶情報を回折パターンで取得。
電子回折
電子が試料を回折して生じる回折パターン。
STEM
走査透過電子顕微鏡。電子ビームを走査して局所の透過像を作る方式。
HAADF
高角度周辺暗部検出。原子番号の差を強調して観察するZ-contrast像。
Z-contrast
原子番号の違いによるコントラスト。高原子番号の物質ほど明るく映る。
EDS
エネルギー分散型X線分析。元素成分を特定する手法。
EELS
電子エネルギー損失分光。電子のエネルギー損失から材料の性質を分析。
EFTEM
エネルギー分散型フィルタTEM。エネルギー選択で画像や分光を観察する手法。
3D TEMトモグラフィー
試料を様々な角度から撮影して3次元像を再構成する技術。
原位TEM
試料を加熱・機械変形・電場照射などしながら観察する技法。
クライオTEM
凍結標本を低温で観察するTEM。
液相TEM
液体を封じたセル内で観察できるTEM。
試料の導電性
絶縁体は電子の蓄積(帯電)を起こしやすい。その対策として導電性を付与することがある。
導電性コーティング
薄い金属膜やカーボン膜を試料表面に施し帯電を抑える。
金属コーティング
銅・金などの金属薄膜で導電性を高める処理。
格子欠陥
ディスロケーションなど格子の欠陥。材料の性質を左右する。
格子定数
結晶の基本格子間隔。
電子ビームダメージ
ビーム照射で試料が損傷する現象。特に生体や有機材料で顕著。
ネガティブスタイニング
試料を対比強化するための陰性染色を用いる観察法(特に生体標本で使われる)。
回折パターン
回折実験で得られる格子情報のパターン。
FFT解析
画像データにフーリエ変換をかけて周期性や格子情報を解析する手法。
CTF補正
コントラスト転送関数を補正して像の解像を改善する処理。
真空
TEMは高真空環境で動作させ、電子の散乱を抑える
真空ポンプ
TEM内部を高真空に保つ装置。
収束角
電子ビームの収束の広がり具合。分解能に影響する。
CCDカメラ
TEM像をデジタルとして記録する撮像素子

透過型電子顕微鏡のおすすめ参考サイト


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